lumina缺陷检测
1、表面缺陷测试 测试方法:光学表面缺陷分析仪原理:采用激光扫描样品表面,在缺陷部位信噪比增强,通过结合亮场、暗场、偏光和微分等通道,对各类缺陷进行统计分析。应用:检测表面缺陷、凹坑、脏污、划痕、应力、膜厚等。灵敏度:测量缺陷灵敏度可达70nm PSL(@smooth Si),150nm PSL(@smooth Glass)。
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希望本篇文章《德国确诊48582例?德国确诊病例破万》能对你有所帮助!
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